ALPHA Plasma 在半导体和电子行业里是一个全球化运营的微波等离子系统设备供应商

专注于为晶圆制造和芯片封装产业提供先进的低压微波等离子技术。

目标不仅仅是提供精密设备，更是为客户提供一个能改进工艺的一站式等离子解决方案。

ALPHA Plasma 的Q系列产品

主要包括批处理式的2.45Ghz微波等离子去胶机，可以快速且无害的去除光刻胶。

并且可以满足大多数在Descum过程中对一致性的严格要求。

除此之外，当Alpha Plasma Q系列产品配置一个晶圆用的加热卡盘时，它同样可用于单片晶圆的其他苛刻应用，比如SU-8,PI去除等。