FC300是适用于FOPLP封装生产的,对应大型面板上片的上片机。
Face Up/Face Down上片模式切换简便,也可对应多种晶圆的混载制程。
高品质・高生产性
• 通过新研发的Dual Gantry Drive实现设备的高精度・高生产性。
• 通过搭载高分辨率视觉系统提高芯片位置辨识的精度。
大型面板对应
• 可对应最大面板尺寸为750×750mm,最大上片区域为670×670mm。
• 在上片平台处搭载面板对位功能。
丰富的制程对应
• 通过对应多晶圆(生产参数切换/治具更换)实现多芯片生产。
• 通过EFEM连接的面板搬送对应实绩丰富。