WID100R主要是被设计用于读取4英寸晶圆的ID。所读取的晶圆ID 会直接储存于PC或上传至客户的服务器里。该系统适用于4英寸 SEMI标准开放式晶圆匣，并配有内置的可编程晶圆定向平面对准， 以确保在扫描ID前晶圆处于正确的定向。此外，WID100R配备触摸 面板PC和GUI定制。易于操作的用户系统界面帮助用户轻松进行操作。 

主要特点 

• 专为4英寸晶圆设计 

• 1个开放式晶圆匣（基于提供的样本晶圆匣） 

• 晶圆匣方向传感器（检测晶圆匣的反向放 置），晶圆匣状态和晶圆匣倾斜传感器。 

• 匣内晶圆插槽映射功能 

• 配备晶圆定向平面对位机构 

• 用于各种晶圆ID位置的可编程晶圆旋转 

• 批量晶圆ID读取（正背面以及定向平面区 域的晶圆ID） 

• 配方设置、对位和晶圆ID读取 

• SECS/GEM通信工具（可选）