WID150R主要是被设计用于读取6英寸晶圆的ID。所读取的晶圆ID 会直接储存于PC或上传至客户的服务器里。该系统适用于6英寸 SEMI标准开放式晶圆匣，并配有内置的可编程晶圆定向平面对准， 以确保在扫描ID前晶圆处于正确的定向。此外，WID150R配备触摸 面板PC和GUI定制。易于使用的软件系统界面帮助用户轻松进行操 作。

主要特点

•   专为6英寸晶圆设计

•   1个开放式晶圆匣（基于提供的样本晶圆匣）

•   晶圆匣方向传感器（检测晶圆匣的反向放置），晶圆匣状态和晶圆匣倾斜传感器。

•   匣内晶圆插槽映射功能

•   配备晶圆定向平面对位机构

•   用于各种晶圆ID位置的可编程晶圆旋转

•   批量晶圆ID读取（正背面以及定向平面区域的晶圆ID）

•   配方设置、对位和晶圆ID读取

•   SECS/GEM通信工具（可选）