WIS1100被设计用于检测(目检)4英寸和6英寸的晶圆尺寸，用于半 导体行业的光学检查、晶圆图和瑕疪分类管理。标准设计配有一 个标准加载端口，可容纳4英寸和6英寸SEMI标准开放式晶圆匣。 该系统配有高性能的前后晶圆宏观检测系统，包括微观检测系统。 此外，微观检测系统集成了尼康EclipseL200N和5个电动物镜。 晶圆对准器是为了确保晶圆定位的准确性和用于晶圆IDOCR读取。 另外，可选择升级喷墨打标系统，用于标记在已检测的瑕疵芯片。

主要特点

•   专为4英寸和  6英寸晶圆设计

•   微观和宏观检查（包括背面宏观检查）

•   明视野、暗视野和NIC模式

•   自动加载器和显微镜

•   带有5个物镜的电动换镜旋座（2.5x，5x，10x，20x，50x）

•   配备晶圆离子中和器和可编程XY工作台

•   配备晶圆对准器和晶圆映射

•   喷墨打标机进行瑕疪标记(可升级)

•   配备配方控制模块、晶圆图、匣式图和显微镜组件控制的软件用户界面。

•   TCP-IP和RS232数据接口/SECS/GEM数据通信（可升级）