WIS8000被设计用于检测(目检)8英寸和12英寸尺寸的晶圆。标准 设计配有两个标准加载端口，可容纳12英寸SEMI标准FOUP、12英 寸SEMI 标准FOSB和8英寸SEMI标准开放式晶圆匣，也可以升级为 三个加载端口。操作员可使用此系统对晶圆进行宏观和微观检测， 并把检测结果记录在晶圆图上。此系统还配有晶圆传送能力以及 可对晶圆ID进行读取记录。

主要特点 

• 专为8英寸和12英寸晶圆 

• 配 备 2 个可容纳 FOUP/FOSB 的平田 (Hirata)FOUP端口，需要平田(Hirata)适 配器用于8英寸开放式晶圆匣。 

• 平田（Hirata）3轴单臂ATM机器手臂 

• 平田(Hirata)晶圆对位器(8英寸和12英寸 晶圆) 

• 配备真空吸盘的可编程XY工作台 

• 晶圆图系统和防振隔离平台 

• IOSS WID120 OCR读取器 

• TCP-IP和RS232数据接口/SECS/GEM数据通 信（可升级）