WIS1000被设计用于检测(目检)6英寸和8英寸的晶圆。标准设计配 有一个标准加载端口，可容纳6英寸和8英寸SEMI标准开放式晶圆匣。 操作员可使用该系统进行晶圆检测、并把检测结果记录在晶圆图上， 并通过晶圆图的空间分布情况及其模型分析，找出可能发生低良率 的原因。此设备集成了尼康(Nikon)晶圆自动加载器，高倍率显微 镜和可编程XY平台，用于宏观和微观检查。它不仅可以对晶圆正面 与背面进行宏观检查，还可以对晶圆正面进行微观检查。另外，可 选择升级喷墨打标系统，用于标记在已检测的瑕疵芯片。

主要特点 

• 专为6英寸和8英寸晶圆设计 

• 微观和宏观检查（包括背面宏观检查） 

• 明视野、暗视野和NIC模式 

• 尼康自动加载器和显微镜 

• 带有5个物镜的电动换镜旋座（2.5x, 5x， 10x，20x，50x） 

• 配备晶圆离子中和器和可编程XY工作台 

• 配备晶圆对准器和晶圆映射 

• 喷墨打标机进行瑕疪标记(可升级) 

• TCP-IP和RS232数据接口/SECS/GEM数据通 信（可升级） 

• 配备配方控制程序、晶圆图和显微镜组件 控制的软件用户界面。