WPS3200是被设计用于处理各种类型晶圆盒的包装和拆封过程。此 系统适用于6英寸和8英寸晶圆。该系统配备了用于晶圆定位和定 向的晶圆预对准器，以及用于OCR和二维码读取的晶圆ID读取器。 此外，WPS3200还配备了用于晶圆、衬纸、隔离纸或环形垫片检测 的内置视觉传感器，以及高精度的机械臂和内置高度传感器。系 统还搭配晶圆扫描和位置感测器，可在操作过程中检测任何晶圆 交叉位置或晶圆叠片问题。

主要特点 

• 配备2个晶圆突出检测传感器（6英寸和8英 寸通用） 

• 配备2个晶圆盒站（可配置为1个晶圆盒和1 个晶圆罐，可选配Cartesian机械系统） 

• 1个衬纸或隔离纸端口（在6英寸和8英寸之 间自动转换） 

• 平田（Hirata）4轴机械臂，具有晶圆翻转 功能 

• 用于晶圆、衬纸或环形垫片检测的内置颜 色传感器，以及在盒和晶圆罐装载端口上 用于机器人操作精度的内置高度传感器， (“分离器晶圆盒”端口上的1个高度传感 器。） 

• 晶圆罐搬运的Cartesian机器（可选） 

• 晶圆盒的晶圆环分离器处理模块（可选）