WPS3800是被设计用于处理各种类型晶圆盒的包装和拆封过程。此 系统适用于8英寸和12英寸晶圆。该系统配有两个用于8英寸SEMI标准开放式晶圆匣和12英寸FOUP晶圆匣或12英寸FOSB晶圆匣的加 载端口，两个用于8英寸晶圆盒和12英寸晶圆盒的加载端口（可配 置1个晶圆盒和1个配备可选Cartesian机器人模块的晶圆罐），以 及一个用于衬纸或隔离纸的端口（用于8英寸和12英寸晶圆的自动 转换）。WPS3800内置用于晶圆、衬纸或环形垫片检测的视觉传感 器，以及在晶圆盒和晶圆罐装载端口上配备内置高度传感器，以 确保机器人在拾取和放置过程中的准确性。

主要特点 

• 配备2个用于12英寸晶圆的FOUP/FOSB和用 于8英寸晶圆的开放式晶圆匣，配备晶圆突出检测传感器和对射式晶圆映射，2个用于各种类型的晶圆盒和晶圆罐的通用装载站 

• 1个衬纸端口（在8英寸和12英寸衬纸之间自动转换）

• 带翻转轴的平田（Hirata）4轴ATM机器臂， 翻转轴（半径-θ-高度-翻转轴） 

• 内置视觉传感器，用于检测晶圆、衬纸或垫片，内置高度传感器，用于检测机器人操作精度 

• 晶圆罐搬运的Cartesian机器（可选） 

• 晶圆盒的晶圆环分离器处理模块（可选）