WSS8000是被设计用于传送晶圆从晶圆匣至另外一个晶圆匣里。该 机器设计有两个标准装载端口，可装载8英寸SEMI标准开放式晶圆 匣、12英寸FOUP晶圆匣和12英寸FOSB晶圆匣。系统还搭配晶圆扫 描和位置感测器，可在操作过程中检测任何晶圆交叉位置或晶圆 叠片问题。机械臂与末端执行器集成，使用伯努利或真空抽吸类 型（取决于晶圆特征）将晶圆转移到输出晶圆匣。WSS8000能够通 过晶圆ID分拣、顺序分拣、拖放分拣、子批次晶圆分拣和槽对槽 分拣等五种分拣方式进行晶圆传送。

主要特点 

• 能够处理8英寸和12英寸晶圆 

• 采用五种分拣方式进行晶圆转移 

• 两个用于8英寸/12英寸尺寸的晶圆的FOUP 加载端口 

• 晶圆预对准器，用于方向检查和晶圆对准， 以及可编程晶圆ID读取器 

• IOSS WID120 OCR读取器 

• 高速信息传递协议（HSMS-SS）点对点 

• 主机和设备之间的通信 

• 用于平面晶圆和凹口晶圆的高精度晶圆对准器 

• (SECS/GEM) 兼容性定制软件，用于晶圆图 上传/下载，易于从服务器检索