WSS2200设计有四个标准加载端口，适用于6英寸和8英寸的晶圆。 端口设计用于处理6英寸和8英寸SEMI标准开放式晶圆匣。此系统主要功能是传送晶圆，从一个晶圆匣传送至另一个晶圆匣里。搭配平田（Hirata）机器手臂，并拥有X、Y和Z轴的移动控制器。从输入加载端口加载的晶圆传输至预对准器进行晶圆定向检查并由 OCR读取对准的晶圆ID，并通过TCP/IP或SECS/GEM记录到PC/服务 器中。

主要特点 

• 设计用于6英寸和8英寸的SEMI标准开放式 晶圆匣，配备四个加载端口 

• 双臂平田（Hirata）自动晶圆装载机/卸载 机（机器人），内置晶圆映射传感器 

• 用于定向检查和晶圆对准的晶圆预对准器， 以及可编程晶圆ID读取器 

• 可编程晶圆分拣配方和机器人控制器 

• 可编程分拣方法，例如晶圆 ID 分拣、顺序分拣、槽对槽分拣、拖放分拣和子批次分拣 

• TCP-IP、RS232 数据接口和 SECS GEM 接口（可选）