WSS3200设计适用于处理8英寸 晶圆。设备具有2个SMIF Pod Opener做为装载端口，主要用于晶圆传送。该系统采用Hirata双 臂ATM机器，并配备了一个晶圆预对准器，用于判定晶圆的定位和 方向，以及用于OCR读取。所有晶圆传送模式都可以通过程序编程， 传送模式如晶圆排序分拣，顺序分拣和槽对槽分拣。 易于操作的 系统界面，设备也可通过TCP/IP或SECSGEM方式与客户服务器进行 连接，用于上传相关数据。

主要特点 

• 设计用于8英寸晶圆处理 

• 两个8英寸 SMIF Pod Opener

• 额外两个非SMIF-Pod晶圆匣适配器 

• Hirata 4轴ATM双臂机器，内置晶圆映射传感器 

• 用于定向检查和晶圆对准的晶圆预对准器

• IOSS WID120 OCR读取器 

• 可编程分拣方法包括晶圆选择排序、顺序 分拣和槽对槽分拣 

• TCP/IP 网络接口或 SECS/GEM 数据接口 ( 可选) 

• 符合ISO 5和6级的HEPA/ULPA过滤器(可选)