WTS100G设计用于对晶圆进行批量传送。系统具有传送模式如批量 传送（25片晶圆直接从开放式晶圆匣传送至另一个开放式晶圆 匣）、分开模式、合并模式或翻转4英寸晶圆和6英寸晶圆。它由 两个加载端口组成，一个载入加载端口和一个载出加载端口。加 载端口配备高精度传感器，用于晶圆位置扫描感测和晶圆匣放置 检测。根据该工具的分拣方法，晶圆从4英寸SEMI标准开放式晶圆 匣转移到4英寸SEMI标准开放式/翻盖式晶圆匣，或从6英寸SEMI标 准开放式晶圆匣转移到6英寸SEMI标准开放式/翻盖式晶圆匣。 

主要特点 

• 专为4英寸和6英寸晶圆设计 

• 晶圆匣类型：SEMI标准开放式晶圆匣和翻 盖式晶圆匣 

• 由两个负载端口（一个输入端口和一个输 出端口）组成 

• 内置可编程晶圆定向平面对准 

• 匣内晶圆映射功能 

• 从输入晶圆匣到输出晶圆匣的批量晶圆转 移 

• 单晶圆分拣（顺序晶圆排列） 

• 批量晶圆合并（奇数+偶数插槽） 

• TCP/IP网络，用于与主机地图服务器接口， 并通过网络存储地图数据 

• SECS/GEM通信工具（可选）