WTS300G设计用于对晶圆进行批量传送。系统具有传送模式如批量 传送（25片晶圆直接从开放式晶圆匣传送至另一个开放式晶圆 匣）、分开模式、合并模式或翻转6英寸晶圆和8英寸晶圆。适用 晶圆匣类型为有26个插槽、25个插槽和13个插槽的SEMI标准开放 式晶圆匣。它由四个加载端口组成，其中三个为载入加载端口， 一个为载出加载端口。该系统配备高精度反射式传感器，用于检 测晶圆突出。

主要特点 

• 专为6英寸和8英寸晶圆设计 

• 四个加载端口可用于垂直放置的开放式晶 圆匣的晶圆分拣 

• 电动夹持器模块配备25槽梳子，用于晶圆 转移、分割、合并和翻转过程 

• 配备可靠的匣映射传感器、晶圆突出传感 器和匣放置传感器。 

• 产品配方由用户友好的 GUI 软件管理 

• TCP/IP网络，用于与主机地图服务器接口， 并通过网络存储地图数据 

• SECS/GEM通信工具（可选）