MPS2100是美国Chapman Instrument Inc.最新的高分辨率分析仪。 专门设计用于表面测量和分析，它既可以用作在线质量检查的生 产工具，也可以用作建立标准和研究公差的研发工具。MPS2100采 用与其他Chapman分析仪相同的非接触测量技术，用户可以快速进 行高分辨率线性或圆形扫描。基于Windows的操作软件功能强大、 易于操作的界面，可以通过编程来执行一系列例行程序，并报告 在线生产数据以供进一步分析。密码安全和事件记录/错误记录是 查普曼软件的标准配置。可选机器手臂搬运150mm、200 mm和300 mm晶圆。

主要特点 

• 快速、全面的圆形扫描（围绕晶圆表面 360°） 

• 用于高清晰度光学检查的诺马斯基 （Nomarski）观察系统 

• 扫描长度从µm到完整的圆周（8英寸或12英 寸晶圆） 

• 单次扫描获取粗糙度和波纹度数据 

• 非接触式3D扫描 

• 自动样本定位（X、Y、θ） 

• 通过一键实现多次扫描的自定义测量序列 

• 自动对焦采集 

• 闭环自动对焦系统允许在扫描不同地形的 样品时保持对焦 

• 可选择性机器手臂操作 

• TCP/IP网络接口或SECS/GEM数据通信（可 选）