ASTRO PACTO-W
全自动微波等离子晶圆去胶/清洗机
光刻胶去除 带加热盘
PI 和 SU 8 等环氧树脂类胶去除 带加热盘
MEMS/Micro LED 牺牲层去除 PI Release
DESCUM 打底膜去浮渣
晶圆表面活化 去除氧化物 有机物